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始终推动工艺升级 让科技转变为现实
量产工艺 lithoXetch™️
超透镜采用半导体工艺加工,但具体方法和流程与芯片等传统半导体产品不同,迈塔兰斯®经过长期探索,提出一套针对超透镜的量产工艺lithoXetch™️,其中包括cutjump™️等具体方法,并以此为基础完成了相关产品的量产。
小批量试产工艺EBLitho™️
在使用量产工艺完成产品交付前,迈塔兰斯®针对客户需求,首先采用小批量试产工艺EBLitho™️,完成产品的demo交付,保证产品的可靠性。
超透镜增透膜技术metaarc®
为解决超透镜透过率低的问题,迈塔兰斯®提出针对超透镜的增透膜设计技术metaarc®,设计时采用恒相益光®、占空光数®、匀偿®等技术,形成新的膜系设计方法和镀膜工艺,将透过率大大提高。
先进超表面加工
对于特殊超表面的加工与封装,迈塔兰斯®同样具备相应方法,例如曲面超表面加工工艺curvelitho™️、基于超透镜的晶圆级封装工艺WLPmeta™️、阶基®、曲基®等。
我们的核心技术使我们的产品极具竞争力
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